一、FFU的簡介

　　FFU英文全稱為（Fan Filter Unit），中文專業(yè)用語為風機過濾機組。

　　FFU風機濾網(wǎng)機組可模塊化連接使用，使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和局部百級等應用場合。

FFU設有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。適用于在各種環(huán)境中獲得高級別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

二、FFU特點

　　1．風機采用德國ebm直驅(qū)式高效離心風機，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級調(diào)速等特性，風機質(zhì)量可靠，工作壽命長達5小時或以上。

　　2．特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線，可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用，也可將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。

　　3．殼體結(jié)構(gòu)選用不銹鋼、鋁合金、冷軋鋼板材料制造，重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。

4．產(chǎn)品出廠前均按美國聯(lián)邦標準209E，METOME塵埃粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測，確保質(zhì)量。

三、FFU的應用

　　FFU（Fan Filter Unit），是一個自帶送風機（無殼風機）的高效過濾器送風口，它與其專用龍骨系統(tǒng)（Ceiling Grid）、冷卻盤管（一般為干盤管）、加壓風機、新風系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了FFU系統(tǒng)。

FFU的使用方式是新風有新風空調(diào)機處理至所需狀態(tài)點后送入,在靜壓箱內(nèi)與回風混合后經(jīng)FFU的風機加壓后經(jīng)HEPA或ULPA送入室內(nèi),再經(jīng)架空地板或側(cè)墻回至干盤管,在此經(jīng)冷(熱)處理后經(jīng)由回壓機送回至靜壓箱完成循環(huán)。這樣的系統(tǒng)最為常用于有超靜要求的潔凈室，如大型集成電路晶圓的制造、尖端顯示器如TFT、PDP等的制造、硬盤的制造等。

　　其優(yōu)點如下：　

　　1、系統(tǒng)非常靈活，可隨時調(diào)整　　

　　因潔凈室的壁板都以天花板格子的模數(shù)（如１２００＊６００）來布置，并且由于其特殊的節(jié)點構(gòu)造，潔凈室的壁板可以隨時調(diào)整位置，以此改變房間的布局。同時如果房間的潔凈度需要調(diào)整，可以通過增減FFU數(shù)量的方法來實現(xiàn)。這對于通常集中送風的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能的。

　　2、出風均勻穩(wěn)定

　　FFU因自帶風機，出風均勻而穩(wěn)定。避免了集中送風系統(tǒng)各送風口風量平衡的問題。對于垂直單向流潔凈室尤為有利。

　　3、節(jié)能顯著

　　FFU系統(tǒng)風管很少，除新風以風管送達外，大量的回風以小循環(huán)的方式在運行，因此大大減少了風管的阻力消耗。同時由于FFU的面風速一般為0.35~0.45m/s,過濾器阻力小,FFU的無殼風機功率很小,新型的FFU采用了高效率電動機,同時對風機葉輪形狀也進行了改進,其綜合效率以大為提高。據(jù)筆者估算，F(xiàn)FU系統(tǒng)一般可比集中送風的凈化系統(tǒng)節(jié)能30%以上，使FFU系統(tǒng)在二、三年內(nèi)就可通過節(jié)省電費把增加的初投資部分（與集中送風的凈化系統(tǒng)相比）省回來。

　　4、節(jié)省空間

　　因省去了巨大的送回風管，故可節(jié)省安裝空間。對于層高緊張的改建項目非常合適。帶來的另一個好處因風管很少空間相對寬敞而使工期縮短。

　　5、風口、燈具、煙感、噴淋、靜電中和器等的合理布局

　　這些潔凈室常用裝置都在上有各自的安裝天花板格子位置，既合理又美觀。而在集中送風的凈化系統(tǒng)里這些裝置的布局經(jīng)常沖突，吊頂顯得擁擠不堪。

　　6、負壓密封

FFU送風系統(tǒng)的靜壓箱為負壓，因此即使風口安裝存在泄漏，也是從潔凈室向靜壓箱泄漏，不會形成對潔凈室的污染。

　　FFU系統(tǒng)也有缺點：風機數(shù)量大，故障機率大。且因FFU布置在吊頂上，維修有一定困難。而集中風系統(tǒng)因設備較為集中，數(shù)量也少，易于維護。但這也不完全是缺點：FFU系統(tǒng)正是因為數(shù)量眾多而分散，通常少量的FFU出現(xiàn)故障，并不能對潔凈度造成嚴重的破壞。甚至可以在對潔凈度幾乎沒有影響的情況下發(fā)現(xiàn)并修復故障單元。而集中送風系統(tǒng)只要一臺AHU出現(xiàn)故障，就會造成大面積的潔凈室停止運行，對生產(chǎn)的影響很大。在幾乎所有的項目中，冷凍機、空壓機、純水設備、水泵、真空泵搶救無效都可以做到備份，盡量減少設備故障對生活的影響。唯獨空調(diào)箱的備份幾乎沒用。FFU系統(tǒng)則在某種程度上達到了這個目的。

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